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光刻机绝对不是一个小东西，DUA光刻机的透镜系统镜片就有四十来块, 叠加组合在一起，都有人这么高，更不用说精度更加大的深紫外光刻机。 老潘带他把光学镜头小组都参观过了一遍，还把隔壁的给介绍了一下。 这一个大组是照明系统大组，里面分光学镜头, 工作台系统等等。 光是光学镜头里又分大大小小的镜片，比如物镜等等。 现在的镜片材料大部分都是用石英材料, 并且光源和镜片之间的联系紧密，光源长时间照射会影响光学材料的性能, 光学材料的性能又会制约工作波长的选择。 所以二者之间能选择的余地很小。 现在也很难提出什么新的光学材料, 这么紧的工期, 基本上没有什么时间要验证。 所以只能在原来的基础上加以改进。 宋问声想了很久, 也想不到自己在光学镜片上能够帮助什么, 只是看了一些数据，提出了一些建议，建议他们和光刻胶小组合作一下，会有奇效。 其实光源的工作波长，不只是受到光学材料的制约，还有光刻胶，宋问声研发的光刻胶路子很野，和其他的不一样。 可以在193nm的深紫外光下使用，也可以在13.5nm的极紫外光下使用。 而且这款光刻胶还有很多功能急待开发，它的自由性很大，就和碳的四条键一样，可以有无穷的变换。 宋问声在光学镜片这里用不上劲，但是他观察之后发现，他在光源上可以有所改进。 只要光源和光刻胶选择的余地多了，那么光学材料选择的余地是不是多了？ 整个下午，宋问声拿着一大沓厚厚的草稿和老潘比划。 老潘听着确实像那么一回事。 他们这些配合研发的，多多少少对需要配合的地方有些了解，看宋问声写出的公式和理论，老潘忽然间觉得，应该就是这样的！ 看着宋问声认真的模样，老潘还觉得有些对不起这小老弟，之前还想骗人家过来指点指点，现在看人家是真认真。 “老宋，我觉得是有几分可行的，我对光源这方面也不算专业，要不然我和应工说一声，你今晚准备详细一点的资料，明天我估计应工会来问你。” 宋问声收拾一下，点了点头。 他的房间是单人间，而且不算特别小，里面放置了只能上内部网的电脑，甚至还有一些娱乐设备，不过一般宋问声都不会用，他最多去的还是被安置了光源的一个小桌子上，去给这段时间养的仙人掌浇浇水。 一般的院士享有副部级待遇，因为宋问声的特殊性，他的待遇远超部级。 看着电脑上密密麻麻的字还有演算公式，他呼出一口气，开始整理。 牵一发而动全身，他要改动光源，那么势必会对光刻机的整体造成影响。 他也只能重光源，而轻其他。 一晚上，绝对不可能把光刻机的全部整理完毕，而宋问声也不是那种全能到变、态的全才。 如果让他弄控制软件，他绝对是不行的，他的编程技术是有的，可是基地里的都是顶级人才，以往开发65或者45nm的光刻机，他们也很有经验了的。 所以他只能尽自己的力量，来描绘出他心中的蓝图。 他在努力，谢冠也在努力，在经过最后的确认之后，他把一篇数学论文投刊至《数学新进展》。 投刊之后，他没有马上回家，而是坐在椅子上，闭上眼睛，他正在操控系统看着宋问声那边。 宋问声正在专心的做着一份资料，偶尔遇到难得的时候，他也会停下来思考，但是因为之前做过腹稿，又在和老潘的谈话当中捋过一遍思路，总体来说还算是通畅。 谢冠没有打扰他，只是静静的看着他。 宋问声没有感觉到有人在窥视他，等他忙碌完毕已经是凌晨两点多了，他赶紧收拾了一下，抓紧时间睡觉。 …… 老潘真的是看在宋问声劳心劳力的份上，去和应富华说了，还把宋问声的草稿带给应富华看了。 应富华也认认真真的看了。 一般这种由上头组织的攻克小组，内部的等级是很森严的，绝对不会出现跨行指导的情况，每一位都是在这个领域里最资深的专家，跨行说不定给不出比原来的专家更好的意见，还耽误了自己的工作。 可是宋问声是一个彻彻底底的怪才。 才四十多天就已经完成了任务，本身也是跨行的专家。 他相信宋问声也是绝对不会拿这件事情开玩笑的，这个年轻人很有些老一辈的那种做科研的韧劲和做事认真的态度。 所以应富华并没有敷衍老潘，而是在老潘的介绍之下，认认真真的看起了这些草稿。 越看他越觉得宋问声的才华真是让人惊叹！ 现在的极紫外光源使用的是等离子体激光器，这个技术被美国的Cymer所垄断，后来这家公司被ASML收购，减少了ASML在这方面攀登的路程。 而宋问声在这里提出来了一个新的等离子激光体系： 金属银薄膜-绝缘材料-半导体纳米材料（1）； 这是一种极其新颖的复合材料，外表由亚波长金属薄膜包裹，里面则是半导体纳米线和空气间隙。 在宋问声的设想当中，这种材料应该是可对谐振腔模式产生影响，改善激光光谱，增强光源。 在纳米材料方面没有人比宋问声更玩得通了。 而且不只是光源，还有整个激光系统的设计，都是十分有意思。 宋问声设计得非常大胆，如果这种材料真的如同他的设想那样有着出众的性质，那么应用在这个设计上就是刚刚好，甚至是相互成就。 因为宋问声设计了一款不同波长的双光速超分辨光源，比现在市面上甚至是ASML的光刻机的技术还要超前一些。 其实ASML也可以做到双光束光刻机，但是他们有一个弱点，就是光刻胶无法配合，而宋问声他们完全不存在这个问题。 宋问声的富勒烯光刻胶可以说是有着很多还没有探知出来的性质，就现在而言，他们对光源的选择比市面上的光刻胶广很多。 “你是说他现在在整理材料？”应富华有些激动的想要站起来去找宋问声好好聊聊，但是现在的时间又晚了点，贸然去打扰不太好。 “可能还有一些需要理顺。”老潘点头，“我觉得如果他说的这个复合材料可行，真的就是我们弯道超车的机会！” 应富华点点头，通知警卫员让各组组长大家早上九点开会。 等老潘要走的时候，应富华突然间叫住了他，“你觉得宋院士怎么样？” 老潘也不知道应工怎么问这个问题，不管是做人留一线还是宋问声本来就很好，他都是夸赞的，“很负责吧，他们开玩笑说科研杀手，我觉得很贴切。” 应富华笑了，“听起来酸酸的。” 老潘抿唇笑笑，离开了这里。 宋问声醒来的时候，正想去食堂吃点早餐，门口外站岗的警卫员就提醒了今天早上九点开会这件事情。 宋问声点头，随便吃了点什么，去实验室叮嘱了他们今天的实验，修整了一下资料，准时前往了会议室。 会议室里坐着二十几个小组组长，每个人都是行业翘楚，领域大师，他们应该是收到了消息，从宋问声进来那一刻，就用审视的目光看着宋问声。 宋问声没有怵，把ppt拷贝到电脑里。 “咳，人到齐了，开始吧，宋院士，如果你不能说服我们这里所有人，恐怕这项设想都是会被搁置的。”应富华说。 宋问声笃定的点头，“我明白。” 他的ppt足足有一百多页，下发下去的资料也有七十多页，厚厚的还带着温度，就被分发到大家手上。 一个小组长对旁边的人小声说，“我觉得就是浪费时间。” “说不定还真有可能呢？他以往的战绩还是很亮眼的。” 有的人期待，有的人不屑，有的人平淡，但是随着宋问声的讲解，他们脸上的神情都有所变化。 该怎么说，宋问声的设想真的很大胆。 作者有话说： （1）来自于《纳米等离子体激光器研究进展》，赵青； （2）谢谢大家的支持！感谢在2022-08-20 23:49:54-2022-08-21 20:52:56期间为我投出霸王票或灌溉营养液的小天使哦—— 感谢灌溉营养液的小天使：特巴悌诶 20瓶；春花秋月何時了 10瓶；小咩雾排骨 3瓶； 非常感谢大家对我的支持，我会继续努力的！
第175章 潜力药水 “他们里面开什么会呢？开一早上？”路过的研究人员偶尔看见紧闭的大门都会嘀嘀咕咕。 他们不知道发生了什么事情, 但是他们知道今天早上各个小组组长被叫去开会了。 现在都快一点了，他们还没有出来。 中午有短暂的休息时间，下午两点多，终于看见有人陆陆续续的从这里走出来了。 他们似有似无, 如同众星拱月一样把宋问声围绕在中间, 或追问问题或打趣笑闹。 而作为众人焦点的宋问声淡然若水, 偶尔侧耳倾听，偶尔亲和交谈, 脸上带着淡淡的笑容，看起来很舒服。 “看来我们还有很多需要改进的是，宋院士到时候请一定要去我们小组指点指点！” “各位都是前辈，叫宋院士让我感觉太不好意思了, 直接叫小宋听起来多亲切，不敢说指点, 相互交流罢了。”宋问声回头笑道。 虽然说接受了宋问声给出的建议，还有些人觉得被一个后辈碾压过来，心里有些芥蒂，但也随着宋问声这几句比较谦虚的话语，心里舒服了一点。 至少知道宋问声不是那么骄狂的人。 宋问声的话语算是说服了他们的, 不过他们对这种还没有样品的材料是存疑的，他们将不会停下手中的工作。 应富华允许宋问声抽调三到四个人弄出自己的新材料, 迅速进入验证环节。 这是一件大事再怎么小心也不过了。 方林山就是其中之一被抽中的那个人。 他是华科大毕业的博士，六年前加入了一个激光研究所, 后来因为成果斐然被选入光刻机小组, 算下来, 这是他参加的第二个保密项目。 起先他还觉得自己一定会在这里大有作为, 可是这里的人才如同过江之鲫, 他实在不算起眼，才能也并没有自己想象中的突出，只能是凭借着勤奋站住了脚跟。 这回他也被征召进来，他和之前一样很努力的搜刮着脑子里的任何想法，踏踏实实的做事，偶尔也会想着和大佬们谈笑风生。 他没有做到，后来者居上的宋问声做到了。 宋问声不仅和大佬谈笑风生，还要开辟新的研究小组，基地里所有的人都知道之间事情，都在谈论。 有的人说宋问声是天马行空，是白费功夫，是不着边际。
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